東北大学 東北大学 大学院工学研究科・工学部 化学・バイオ系

応用化学専攻 応用化学専攻 - 原子・分子制御工学講座 DEPARTMENT OF APPLIED CHEMISTRY - MORECULAR MATERIALS DESIGN

真空技術,薄膜・表面,エレクトロニクス

真空技術,薄膜・表面,エレクトロニクス

「試験管やフラスコを用いないナノ化学の先端研究」
真空技術と化学の融合により,現代のエレクトロニクス産業を支える膜厚がナノレベルの “超薄膜”材料の研究に取り組んでいます。今後は,Siだけでない,様々な物質が半導体・エレクトロニクス材料として用いられることから,私たちは,化学の力で次世代エレクトロニクスの未来を開拓することに挑戦しています。

薄膜・界面の真空工学

主な研究テーマ

パワー半導体SiC単結晶薄膜の高速合成・高品質化

本研究では,vapor-liquid-solid(VLS)法という次世代半導体薄膜技術により,高品位SiC薄膜の省エネプロセス技術を確立し,SiC単結晶薄膜が既存のSiを代替したパワーデバイスの実用化・量産化を加速化し,スマートグリッドによるエネルギー高効率利用の実現を通じて低炭素化社会に貢献する。

機能性薄膜の合成とデバイス化
有機・イオン液体薄膜を用いた省エネデバイス・太陽電池開発

本研究では,独自の赤外レーザー蒸着装置を駆使して,高品質の有機結晶・液晶膜やイオン液体の電解質膜の作製,有機トランジスタや有機EL,太陽電池およびナノイオン液体ゲル膜などその周辺技術の開発に取り組み,有機デバイスの可能性に挑戦し,よって,省エネエレクトロニクスの発展に貢献する。

ナノイオン液体の創製技術とその応用
酸化物エピタキシーの電気化学・エレクトロニクス

本研究では,パルスレーザー堆積法を用いて,既存の酸化物の他,ナノレベルで交互積層した超格子や組成を変調した傾斜組成構造など,新しい酸化物材料の合成と物性・機能探索に挑戦し,酸化物をベースにした強誘電体・磁性体や超伝導体,二次イオン電池の電極材料など,電気化学・エレクトロニクスへの次世代応用を目指す。

ナノ相界面の評価技術の開発